株式会社斉藤光学製作所

事業所所在地	秋田県美郷町
利用事業	既存放射光施設トライアルユース
年度	令和元年度（2019年）
課題名	SiC基板におけるCMP加工条件を導出するための放射光計測活用に関する可能性調査
サンプル品	SiC基板
NanoTerasuのビームライン/測定施設	SPring-8
主な分析手法	X線トポグラフィー
関連分野	電子部品・デバイス・電子回路製造業
協力機関	公設試 / 研究機関

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